JSM-7500F 電界放出形走査電子顕微鏡

特長

電界放出形の電子銃とセミインレンズ方式、さらにジェントルビーム（GB）を組み合わせた高分解能と追及するSEMです。GBとの組み合わせにより数百eVの極く低い試料到達エネルギーにおいても高い分解能が得られるため、極最表面の観察に最適な装置です。もちろん元素分析など各種オプション搭載可能です。

汎用性を保ち最高分解能が得られる組み合わせ

JSM-7500Fは低加速電圧でも電子線を細く絞ることができる電界放出形電子銃とセミインレンズ方式の対物レンズとを組み合わせた光学系のSEMです。汎用SEMと同様に大きな試料でも高い分解能観察が可能です。

ジェントルビーム(GB)による極低エネルギー入射電子による最表面観察

試料にバイアス電圧を印加して電子ビームを照射することにより、通常よりも分解能が向上するGBモードが使用できます。高い分解能が得られるJSM-7500Fの光学系と組み合わせることにより、従来では高分解能観察が難しかった数百eVの試料到達エネルギーの電子による試料最表面観察が可能です。

New r-filterによる二次電子、反射電子の選択検出

New r-filterには標準SB（二次電子検出）モード、標準BEモード（反射電子検出）、Sbモード（二次電子優先）、Bsモード（反射電子優先）の4種類があります。Sbモードは二次電子に任意の比率で反射電子を混合して検出することができます。Bsモードは反射電子に任意の比率で二次電子を混合して検出することができます。これらの操作はわかりやすいメニューウインドウ上でワンタッチ操作で行えます。

応用例

高分解能光学系を生かした最表面の微細構造観察 JSM-7500Fは低加速電圧でも電子線を細く絞ることができる電界放出形電子銃とセミインレンズ方式の対物レンズとを組み合わせた光学系のSEMです。さらにGBモードを加えることにより極低い試料到達エネルギーの電子によるSEM像観察が可能になり、試料の極最表面の観察が容易になります。下左図はポリマー結晶のSEM像で最表面の結晶成長ステップを確認できます。下中央、右図はメソポーラスシリカの微細構造を観察した例です。微小な孔を鮮明に観察することができています。

試料：ポリマー結晶
試料到達エネルギー：0.5keV

試料：メソポーラスシリカ
試料到達エネルギー：0.8keV

仕様・オプション

二次電子像分解能	1.0nm（15kV）、1.4nm（1kV）
倍率	×25～×1,000,000
加速電圧	0.1kV～30kV
試料照射電流	1pA～2nA
開き角自動最適化レンズ	組込み
検出器	上方検出器下方検出器
エネルギーフィルター	New r-filter
ジェントルビーム	組込み
デジタル画像	1,280×960画素、2,560×1,920画素 5,120×3,840画素
試料交換室	ワンアクション交換機能組込み
試料ステージ	ユーセントリック、5軸モータ駆動
タイプ	IA	II	III
X-Y	70mm×50mm	110mm×80mm	140mm×80mm
傾斜	－5～＋70°	－5～＋60°	－5～＋60°
回転	360°	360°	360°
作動距離	1.5mm～25mm	1.5mm～25mm	1.5mm～25mm
排気系	SIP 3台、磁気浮上形TMP、RP、フォアライントラップ
省エネ設計	定常稼働時: 1,2kVA スリープモード時: 1kVA 操作系OFF時: 0.76kVA