ナノ表面形態観察評価FE-SEM
JSM-7700Fは、最新鋭ナノテクノロジー研究における微細構造の観察と分析を、従来にない高性能で行うために開発されました。対物レンズには収差を補正する収差補正器を装備し、TEM用試料ステージの採用で耐震性を向上し、完全ドライ排気システムのより試料への汚染を最小限に押さえた、超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡です。微細構造の観察に適した低加速電圧での分解能は、収差補正器の効果により、5kVで0.6nmが得られます。反射電子組成観察は、インレンズ反射電子検出器により高分解能観察が可能です。元素分析用EDS、薄膜試料観察用のSTEM取り付けにより、広い応用分野への対応ができます。
仕様・オプション
| 分解能 | 0.6nm（5kV）、1.0nm（1kV） |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 倍率 | ×25～2,000,000 |
| 試料寸法 | 5mm×18mm×8mmH、5mm×25mm×4mmH |
| 試料移動 | X方向：2.5mm Y方向：24mm
Z方向：1mm、傾斜：±45（4軸モータ駆動） |
アプリケーション
JSM-7700Fに関するアプリケーション
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