低加速電圧でも高分解能・強励磁コニカルレンズFE SEM
半導体をはじめとする超微細加工、超微粒子、および医学生物分野での高倍率観察に適した新開発のレンズを搭載した高性能装置です。
ユーザーによる電子銃・レンズ系の軸合わせを不要にする新システムにより、高性能を安定して得ることができます。
仕様・オプション
| 分解能 | 1.0 nm |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 倍率 | ×25～650,000 |
| 試料寸法 | 150mmφ |
| 試料移動 | X方向：70mm Y方向：50mm （モータ駆動/手動可能） Z方向：1.5～25mm、傾斜：－5゜～60° 回転：360°エンドレス（モータ駆動） |
アプリケーション
JSM-6700Fに関するアプリケーション
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冷却水循環装置 KNO-1400G
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の装置内部を冷却する為の、空冷式一体型送水装置のご紹介です。冷却水温度を高安定度に常に保ちながら、FE-SEMの像観察の一役を担います。お客様水道設備による冷却水送水また冷却後の排水で無限の冷却水を使用するのではなく、FE-SEM内、冷却専用として、本装置の水槽内の冷却水を循環させますので、環境にやさしい冷却水の供給を実現します。尚、FE-SEMの油拡散ポンプ排気系専用装置です。
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