High Power Optics採用によるナノ構造解析FE SEM
High Power Opticsにより、最大200nAという余裕の大電流が得られ、電子線のエネルギーを低くして大電流を取った場合でも小さいプローブ径が得られます。表面のNano-Structures観察と、数10nm領域のEDS分析が可能です。
電子銃は完全自動化されており、容易に最適条件の設定ができます。対物レンズ絞りは、最小絞りのまま高倍率観察からEDS分析、EBSD解析が可能です。コンピュータコントロールのユーセントリック大形試料ステージと、シンプルな操作画面上に表示される高精細デジタルライブ像が快適な操作を約束します。
仕様・オプション
| 分解能 | 1.2nm |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.5～30kV |
| 倍率 | ×10～500,000 |
| 試料寸法 | 150mmφ |
| 試料移動 | X方向：70mm Y方向：50mm
（モータ駆動/手動可能） Z方向：3～41mm、傾斜：－5゜～70° 回転：360°エンドレス（モータ駆動） |
アプリケーション
JSM-7000Fに関するアプリケーション
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冷却水循環装置 KNO-1400G
電界放出形走査電子顕微鏡(FE-SEM)の装置内部を冷却する為の、空冷式一体型送水装置のご紹介です。冷却水温度を高安定度に常に保ちながら、FE-SEMの像観察の一役を担います。お客様水道設備による冷却水送水また冷却後の排水で無限の冷却水を使用するのではなく、FE-SEM内、冷却専用として、本装置の水槽内の冷却水を循環させますので、環境にやさしい冷却水の供給を実現します。尚、FE-SEMの油拡散ポンプ排気系専用装置です。
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