透過電子顕微鏡（TEM）
SEMよりさらに細かな情報へ
生物系から材料系の観察・分析のご要望に対応いたします
透過電子顕微鏡は様々な試料の微細構造観察・分析に適しています。
生物試料のような組織観察から材料系試料の結晶構造やナノ・原子オーダーの観察まで行えます。
各種測定装置と組み合わせることにより、高分解能での「ナノオーダー元素分析」、「In-situ観察」、「トモグラフィ」など様々な観察・分析が可能です。
主要装置
| 機種名 | GUN | 加速電圧 | Cs Corrector | カメラ | STEM 検出器 |
EDS検出器 analyzer |
option |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| JEM-ARM200F NEOARMex |
Cold-FEG | 200kV 120kV 80kV 60kV |
STEM | ClearView (Gatan社製) |
ADF ABF BF BEI |
158mm2(2本) JED |
Continuum ER with Stela(Gatan社製) EDM Basic(IDES社製) 4D-STEM(STEMx)(Gatan社製) 高速スキャンシステム(JEOL製) |
| JEM-2100F | Schottky | 200kV | - | USC1000XP (Gatan社製) |
ADF BF |
100mm2(1本) JED |
ASTAR/Topspin(NanoMEGAS社製) |
| JEM-1400Plus | LaB6 or W | 120kV | - | Flash CMOS camera (JEOL製) |
- | - | - |
分析例
試料観察手法・作製方法について
実績試料
金属
半導体
セラミックス
鉱物
高分子材料（ゴム、プラスチック、フィルム）
生物全般
食品
医薬品
化粧品
観察手法
通常TEM/STEM観察
EDS分析
EELS分析
加熱観察（Fusion DT/Protochips社製/室温～1200℃）
冷却観察（Gatan636/Gatan社製/室温～液体窒素温度）
液中観察（Poseidon200/Protochips社製）
非曝露観察（非曝露トランスファーホルダー/JEOL製）
非曝露冷却観察（Double Tilt LN2 Atoms Defend Holder/Melbuild社製）
3次元構造解析トモグラフィ（TEMography/SIF社製）
試料作製
イオンミリング
クライオイオンミリング
ミクロトーム⑥③
クライオミクロトーム⑤③
凍結割断レプリカ①
ネガティブ染色⑩
シャドウィング⑨
生物試料作製全般⑧