多孔質ベーマイト 二次電子像／減速法（BD）

非鉄・金属

ベーマイトは、アルミニウム表面を熱水処理することで生成される酸化水酸化アルミニウム (AlO (OH) ) です。多孔質ベーマイトは比表面積が大きく、親水性に優れるため、イオンや水分の吸着材として利用されています。多孔質ベーマイトは、孔径によってイオンや水分の吸着性能が変化するため、SEMによる孔径測定が重要です。一方で、ベーマイトは非導電性試料であるため、SEM観察時には帯電対策が必要です。JSM-IT810〈SHL〉の上方ハイブリッド検出器 (UHD) とBDモードを組み合わせて用いることで、帯電の影響を低減し高倍率観察を行うことができます。数十nmから100 nm程度の孔構造を明瞭に観察することができました。