ウィーンフィルタ

Wien filter

インコラム型のエネルギーフィルタで、オメガフィルタやアルファフィルタが磁界のみを用いるフィルタであるのに対し、ウィーンフィルタは直交する磁界と電界を用いる。主にモノクロメータとして使われ透過電子顕微鏡の照射系に組み込まれる。高電圧の200kVの電子線に対するエネルギー分散能は小さいので、電子線の加速前あるいは電子線を数100Vに減速してフィルタに導入する。この場合のエネルギー分散能は～10μm/eVである。また電極間の放電等の問題からフィルタに高い電圧をかけるのに限界がある。そのために、このフィルタは～10keV以下の入射電子線に使われる。フィルタ内の軌道が光軸に平行で直線的なのが特徴であり、利点である。

One of the in-column type energy filters. The "Wien filter" uses magnetic and electric fields perpendicular to each other for getting energy dispersion, though the omega filter and the alfa filter use only magnetic fields. The Wien filter is used as a monochromator by incorporating it in the illumination system of a TEM. Since its energy dispersion for a high-voltage 200 kV electron beam is small, the electron beam is introduced into the filter before the beam is accelerated or after the beam is decelerated to several 100 V. In this case, its energy dispersion is ～10 μm/eV. There is a limitation on applying a high voltage to the Wien filter due to discharge between electrodes. Thus, the filter is used for an incident electron beam at a voltage of ～10 keV or less. The advantage of the Wien filter is that the electron trajectory in the filter is parallel to the optical axis or forms a straight line.