ウルトラ・スィン・ウィンドウ型EDS検出器

ultra-thin window (UTW) EDS detector

[目次：検出系]

検出素子に不純物が付着するのを防止するために、薄い（厚さ0.3～0.5μm）有機薄膜を窓材として使用するEDS検出器のこと。有機薄膜表面には、帯電防止のためにアルミニウムが蒸着されている。ベリリウム・ウィンドウ型に比べて、窓でのX線の吸収が少ないので、ナトリウムよりも軽い元素を検出できる。

An EDS detector that uses an organic thin film of 0.3 to 0.5 mm thickness as a window material to prevent contaminants onto a detector element.
Aluminum is evaporated on the surface of the organic thin film so as to avoid charging on the window. Compared with the beryllium window EDS detector, the ultra-thin window (UTW) EDS detector better suppresses absorption of low energy X-rays. Thus, the detector can analyze elements lighter than sodium (Na).

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