エネルギー分解能

energy resolution

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

分光分析において、スペクトルの判別可能な最小エネルギー(eV)。EDSでは、分解能は検出器によって決まり、130～140eV程度、WDSでは約10eVであるが、最近では1eV以下のものもある。EELSでは、入射電子線のエネルギー幅が、ほぼエネルギー分解能を決める。電界放出型電子銃を利用した通常のEELSでは0.7eV程度である。モノクロメータを持つ電子銃の場合は0.2eV程度である。

"Energy resolution" is the minimum energy (eV) of a spectral peak that can be resolved in spectroscopy. In EDS, the detector performance determines the energy resolution to be 130 to 140 eV. In WDS, it is about 10 eV; however recently, some WDS analyzers can produce an energy resolution below 1 eV. In EELS, the energy spread of the incident electron beam almost determines the energy resolution. Standard EELS resolution using a field-emission electron gun is about 0.7 eV. When an electron gun is equipped with a monochromator, a higher energy resolution of about 0.2 eV is obtained.

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