固定絞り

fixed aperture

[目次：レンズ系]

第1コンデンサーレンズや投影レンズの下などに設けられる固定された絞りのこと。光源からの不用なビームをカットするために、コンデンサーレンズの下に固定絞りが挿入されている。また、精度の高い分析用に、鏡筒内で励起されたX線をカットするために、タンタルなどの重金属製の固定絞りが照射系に挿入されている。結像系には中間レンズの入口に鏡筒内反射をカットするために、固定絞りが入れられている。投影レンズの下には、カメラ室と鏡筒部を差動排気するために、固定絞りが挿入されている。

An aperture with a certain size fixed at an appropriate position. It includes various apertures: An fixed aperture is placed below the condenser lens to cut unnecessary beams from the electron source. A fixed aperture made of tantalum is inserted into the illumination system to cut X-rays excited in the column for achieving high-accuracy analysis. A fixed aperture is inserted at the entrance of the intermediate lens system of the imaging system to cut reflection electrons in the column. A fixed aperture is inserted below the projector lens to enable differential pumping between the camera chamber and the column part.

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