電界放出型電子銃

field-emission electron gun, FEG

[目次：照射系(電子銃／高圧系)]

冷陰極タイプと熱電界タイプがある。超高真空下で細く尖らせた陰極(エミッタ)の先端に強い電界(高い電圧)をかけて電子を放出させる電子銃。熱電子放出型電子銃に比べ電流量は少ないが、輝度は10⁷～10⁸と高い。電子は陰極の微小部分から放出され、初速度のばらつきが小さいので、微小プローブを作ることができ、高いエネルギー分解能を得ることができる。電子線ホログラフィーには不可欠である。

There are two types of field-emission electron gun (FEG); the cold cathode type and the thermal (thermally assisted) type. The FEG emits electrons from a sharpened tip of a cathode by applying a strong electric field. Compared with the thermionic-emission electron gun, the beam current of the FEG is small but its brightness is as high as 10⁷ to 10⁸. The FEG produces a small electron probe with a small energy spread. The FEG is essential for electron holography.

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