電子線照射損傷低減システム

minimum dose system, MDS

[目次：検出系]

試料への電子線照射損傷を低減して写真を撮影するための手法。生物試料の撮影に使われる。撮影する場所探しをした後、焦点合わせ、非点収差補正を撮影する場所でないところで行い、極力小さな電子線照射量、倍率、撮影する場所を設定して、撮影までの一連の操作を行なうシステムのこと。

"Minimum dose system (MDS)" is a method to photograph a TEM image by reducing damage to the specimen due to electron-beam irradiation. MDS is effectively used to photograph biological specimens. After the field for photographing is searched, focus adjustment of the objective lens and astigmatism correction are performed at a non-photographed position. Then, the MDS sets an electron dose, a magnification and the field for photographing to minimize the electron dose and takes the image.

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