電離真空計

ionization (vacuum) gauge

[目次：真空系]

残留気体を電離させて生成したイオンまたは電子を捕獲し、流れる電流量から気体の圧力を測定する真空計のこと。気体を電離させる電子源として、フィラメントを加熱して熱電子を用いる熱陰極電離真空計とプラズマを用いる冷陰極電離真空計がある。前者の例としてB-A真空計、後者の例としてペニング真空計がある。

A vacuum gage that measures the gas pressure by ionization mechanism. In the ionization (vacuum) gauge, residual gasses are ionized, and produced ions or electrons are captured, then the gas pressure is measured using the produced current. Two types of ionization gauge are available: a thermal-cathode ionization gauge that heats a filament and ionizes gasses using thermoelectrons (ex. B-A gauge) and a cold-cathode ionization gauge that ionizes gasses using plasma (ex. Penning gauge).

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