取り出し角

take-off angle

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

EDSにおいて、試料から放出される特性X線を、試料より上方に位置する検出器で取り出す角度のこと。試料中心と検出器の検出面の中心を結んだ線が電子顕微鏡の光軸に垂直な面となす角度を表す。この角度を大きく設定することによって、試料自身やホルダによって信号がけられる確率を低くすることができる。また、試料から放出されるX線の試料内での拡散距離を短くできるので、定量性がよくなる。以前は、取り出し角を60～70°に設定していた。すなわち、上記の効果を低減するために、検出器を対物レンズの上方に配置しポールピース上極穴を通して信号を取り出す方式が、取り出し角を大きくすることができるので、理想とされ、High-Angle EDSもしくはTop Take-off方式と呼ばれた。しかし、現在ではポールピースの穴径を小さくして像の高分解能化が求められることと、nmオーダ以下の分析において検出効率を上げることを優先し、検出器をポールピースの横方向に取り付けて試料に近付け、試料を見込む立体角を大きくするように設定されており、取り出し角は～20°になっている。この方式はSide Take-off方式と呼ばれることがある。

In the case of EDS analysis, "take-off angle" means that the angle at which characteristic X-rays emitted from the specimen are received with a detector placed above the specimen. This angle is defined by the angle of the line connecting the specimen center and the center of the detector against the normal plane to the optical axis. By setting this angle larger, signals cut by the specimen and specimen holder are reduced and the diffusion distance of the emitted X-rays in the specimen can be made shorter, thus the accuracy of quantitative analysis is improved. Previously, the take-off angle was set at 60°to 70°to reduce the above effects, which is called "High-Angle EDS" or "Top Take-off method." Recently, the take-off angle is however set at a low angle of ～20°by attaching the detector at the side of the objective polepiece because the detector is requested to place as near as possible to the specimen to increase the detection efficiency of the emitted X-rays or to increase the solid angle of the detector against the specimen, and the bore of the polepiece is requested to make small to obtain a high spatial resolution. This way of signal acquisition is called "Side Take-off method."