ノイズキャンセラ

noise canceller

[目次：照射系(電子銃／高圧系)]

冷陰極FEGでは放出電流の短時間での変動(エミッションノイズ(チップノイズ)という)が大きいために、それをプローブとしたSEMあるいはSTEMにおける走査像上には明暗の線状のコントラストが現れる。エミッション電流の一部を検出し、その信号の変動を画像信号にフィードバックしてエミッション電流(入力信号)の変動の効果を取り除き、線状のコントラストをオンラインで低減させるための検出器および演算回路をノイズキャンセラと呼ぶ。エミッション電流の検出には、専用の電流検出絞りあるいは電流検出機構付きコンデンサ絞りを使用する。

In a cold-field emission gun, short-time intensity fluctuations of the emission current (called "emission noise (chip noise)" exist. As a result, light-and-dark horizontal line contrast appears in an image of SEM or STEM. A system to reduce this adverse contrast is called "noise canceller." The noise canceller consists of a detector and an operational circuit. The canceller detects a part of the emission current, feeds back the fluctuation signal to the image signal to remove the effect of the fluctuation, and reduces the horizontal line contrast on-line. In this process, the emission current is detected by a dedicated aperture for current measurement or a condenser aperture fitted with a current-detection mechanism.