半導体検出器

semiconductor detector, solid-state detector, SSD

[目次：検出系]

シリコンあるいはゲルマニウム半導体を用いたX線検出器のこと。EDS装置の検出器に用いられる。従来は、シリコン・リチウム検出器が使われて来たが、最近はシリコンドリフト検出器の使用が主流になって来ている。検出器のウィンドウについてはベリリウム・ウィンドウ型、ウルトラ・スィン・ウィンドウ型、ウィンドウレス型などがある。

An X-ray detector utilizing a semiconductor silicon (Si) or germanium (Ge). The detector is used for an EDS system. The Si-Li detector has long time been used, but in recent years, it is being replaced by the silicon drift detector (SDD).
For the window of the detector, three types are available: beryllium window, ultra-thin window (UTW) and windowless.

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