光回折法

optical diffraction method

[目次：理論(電子の散乱／回折／結像)]

透過電子顕微鏡の対物レンズの性能を検査するのに使われる手法。非常に薄い非晶質試料のHREM像にレーザ光を照射して得られた光回折パターンから、レンズの球面収差の補正、コマ軸の補正、非点収差(軸上)の補正を行なう。また、回折パターンの半径から、HREM像に寄与する最大空間周波数が求められ、分解能が測定できる。回折パターンが真円であれば非点収差が補正されている。最近では、レーザ光を使わずコンピュータ処理で同様の補正が行なわれており、球面収差補正装置の性能評価に活用されている。

A method used to examine the performance of the objective lens in a TEM. In the "optical diffraction method," an HREM image of a very-thin amorphous specimen is taken and is illuminated with a laser beam to obtain an optical diffraction pattern. Using the obtained optical diffraction pattern, corrections of spherical aberration, coma axis and axial astigmatism of the objective lens are performed. The radius of the diffraction pattern (the most distant visible spot) reveals the maximum spatial frequency or the resolution of the HREM image. If the diffraction pattern is perfectly circular, the astigmatism of the objective lens is fully corrected. Recently, instead of the laser beam, computer processing is used. A computer processed aberration correction is effectively utilized for the alignment of a Cs corrector.

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