ピラニ真空計

Pirani (vacuum) gauge

[目次：真空系]

加熱されている素子の電気抵抗が温度によって変化することを利用した熱伝導真空計。この真空計では管球の内部にタングステンなどの金属線が張られ、電流で加熱される。真空度によって熱伝導度が変化し、金属線の温度が変わる。測定範囲は0.1～10³Pa。電顕ではロータリーポンプ(RP)引きから油拡散ポンプ(DP)引きへ切り替える圧力の検出に使用される。

A thermal conductivity (vacuum) gauge that utilizes a phenomenon where electrical resistance of a heated element changes with temperature. In the Pirani (vacuum) gauge, a metal (tungsten) wire placed inside a tube is heated by electric current. Thermal conductivity of the metal wire changes with the degree of vacuum through change of the temperature of the wire. The measurable range is 0.1 to 10³Pa. For a TEM, the gauge is used to detect the switching pressure from the rotary pumping (RP) to the diffusion pumping (DP).

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