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ベルシュ効果

ベルシュ効果

Boersch effect

[目次:照射系(電子銃/高圧系)]

電子銃から放出される電子の電流量が増すと、電子同士のクーロン相互作用によってエネルギー分布の幅が増大する現象。エネルギー幅が増大すると電子レンズの色収差が大きくなる。その結果、電子線の進行方向と垂直方向への電子線の広がりが大きくなり、電顕像の空間分解能が低下する。また、電子線の進行方向への広がりも大きくなるため、電顕像の時間分解能が低下する(時間分解TEM法におけるパルス電子を使ったイメージングの場合)。

The Boersch effect is a phenomenon in which the energy spread of the electrons increases as the current of the electrons emitted from the electron gun increases, due to Coulomb interactions between the electrons. As the energy spread increases, the chromatic aberration of the electron lens increases. As a result, the spread of the electron beam in the direction perpendicular to the traveling direction of the electron beam increases and the spatial resolution of the electron microscope image is decreased. The time resolution of the electron microscope image is also decreased because the spread of the electron beam in the traveling direction also increases (in the case of time-resolved TEM using pulsed electrons).

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