リターディング

retarding

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

電子顕微鏡光学系内で、リターディング用に追加した電極やレンズ、試料などに一定の電位を与え、局所的に電子の速度を落とすことをリターディングという。電子を減速することによって、分光器のエネルギー分散能を向上させて、高いエネルギー分解能での電子エネルギー損失分光スペクトルを得ることができる。また試料ステージにリターディング電位を与えることにより、電子顕微鏡の加速電圧は高いまま低加速電圧電子顕微鏡像を観察して多機能化をはかることも行われる。また、背面散乱電子観察用スクリーンの手前の電極のリターディングポテンシャル(電圧)を変えることによって、背面散乱した電子のエネルギー分布を調べたり、弾性散乱電子のみを取り出して反射電子回折を得るときにも利用される。

"Retarding" means the retardation of an electron beam in a TEM. In the optical system of the electron microscope, a certain voltage is applied to an additional electrode, a lens or a specimen stage to lower (retard) the velocity of the electron beam. Retarding of the electron beam improves the energy resolution of EELS spectra. As an attempt for multi-functionality of TEM, a retarding voltage is applied to the specimen stage for the observation of a low-accelerating-voltage TEM image while the accelerating voltage of the TEM itself is kept unchanged. In addition, changing the retarding potential (voltage) enables us to measure the energy distribution of backscattered electrons and to take a reflection diffraction pattern only from elastically scattered electrons.

関連用語から探す