ライブタイムスキャン

live time scan

[目次：分光分析(EELS／EDS／電子構造)]

EDSによる面分析において、各走査点で計測するX線の有効計測時間（ライブタイム）が等しくなるように電子プローブの滞留時間（ドゥエルタイム）を変えながら走査をする測定法のこと。
各走査点でのドゥエルタイムを固定して電子プローブを走査した場合、X線の発生量が大きい走査点では不感時間率（デッドタイム）が大きいため、X線の数え落しが多くなり、元素濃度が過小に見積もられてしまう。各走査点でのライブタイムが等しくなるように電子プローブのドゥエルタイムを変えながら走査する（ライブタイムスキャン）ことで、この問題を回避することができ、試料本来の元素濃度に対応した二次元元素分布像を得ることが可能になる。

Live time scan is an EDS measurement technique to scan an electron probe over an area by varying the dwell time of the probe so that the effective measurement time (live time) for characteristic X-rays becomes equal at each scanning point.
If the dwell time is set to a definite time for all the scanning points, the dead time (rate) for the scanning points with a large X-ray generation increases. Thus, the generated X-rays are counted smaller than the true counts. As a result, the concentration of the element concerned is underestimated. To avoid this phenomenon, the dwell time at each scanning point is varied so as to make the live time equal for all the points (live time scan). Therefore, the live time scan enables us to acquire the correct two-dimensional element map of the specimen. 

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