プロセスタイム

process time

EDS分析において、EDSスペクトルのエネルギー分解能と分析時間の短縮（スループットの向上）のどちらを優先するかを決めるための時間の指標。プロセスタイムの設定により、分析目的に合わせたEDS分析を行うことができる。EDSメーカーによっては、時定数と表記する場合もある。
EDSでは、試料から発生した特性X線をエネルギーの違いにより選別（分光）し、元素分析を行う。X線を分光する過程において、半導体検出器で検出されたX線のエネルギー値を正確に求めるために、X線信号のノイズ成分に対して平均化処理が行われる。プロセスタイムを変更することにより、平均化処理の時間が変更される。プロセスタイムが大きい（平均化処理の時間が長い）と、X線のエネルギー値を求める誤差が減り、エネルギー分解能の良いEDSスペクトルが得られる。ただし、その場合、平均化処理時間内に入射するX線は計測されず、不感時間（デッドタイム）が増加する。プロセスタイムが小さい（平均化処理の時間が短い）と、デッドタイムが減り、分析に要する時間が短縮される。ただし、求めるX線のエネルギー値の誤差が増え、エネルギー分解能は悪くなる。

The process time is a time index to select whether to use the EDS analysis focusing on its energy resolution or focusing on its analysis time (throughput). By changing the process time, an EDS analysis suitable for analysis purpose can be carried out. Some EDS manufacturers name it as "time constant."
In the element analysis by EDS, characteristic X-rays generated from a specimen are subjected to dispersion according to their energy. In the process of EDS, averaging of the noise components of X-ray signals which are detected with a semiconductor detector is performed to obtain accurate energy values of the X-rays. By changing the process time, the averaging time is changed. If the process time (averaging time) is longer, a high-energy resolution EDS spectrum is acquired because the measurement error of the X-ray energy values decreases. However, the X-rays entering the detector in the averaging time cannot be measured, and then the dead time increases. If the process time (averaging time) is shorter, the dead time decreases and the time required for analysis is shortened. However, since the error of the X-ray energy values increases because of a shorter averaging time, the energy resolution is sacrificed.