ET検出器

ET detector, Everhart-Thornley detector

[目次：装置]

Everhart と Thornley によって開発された二次電子検出器。高電圧が印加されたシンチレータに、二次電子を加速衝突させて光に変換し、光電子増倍管で再び電気信号に変える。シンチレータの前には補助電極（コレクタ）が置かれており、捕集効率が変えられるようになっている。現在のSEMで使われている二次電子検出器の基本形である。

2020

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