HAADF

high-angle annular dark field

[目次：理論]

STEM暗視野法の一つ。大きな角度に散乱された透過電子を、円環状の検出器で検出し画像化すると、原子番号の2乗に比例したコントラスト（Zコントラスト）を得ることができる。この方法をHAADF（ハーディフ）と呼び、200kVクラスの加速電圧を持つSTEMでは、原子オーダーの解像力で組成情報を得ることができる。

関連用語から探す