エイリアシング

aliasing

[目次：理論]

SEM像の中にある構造の周期が、画素の大きさや走査線の間隔に近くなると、偽の周期として観察される現象。SEM像の中の構造が、画素の大きさや走査線の間隔の2倍以上の周期を持っていない限り、偽の周期を生じてしまうので、構造に応じて高い倍率を選ぶ必要がある。また、低倍率像に記録された細かい構造をあとから拡大して観察する場合は注意が必要である。下図は、周期Ｔの波形を、ほぼ1T/3と2T/3の周期で観測したときの結果を示しているが、2T/3では元の波形とは異なる周期が観測されている。

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