エネルギー分解能

energy resolution, spectrum resolution

[目次：分析]

X線分光による元素分析において、スペクトルの判別可能な最小エネルギー(eV)。およそ半値幅だけ離れたスペクトルの2つのピークは判別できる。エネルギー分解能は検出器のタイプに依存している。
エネルギー分散型X線分光器(EDS)のエネルギー分解能は、マンガン(Mn) Kα(5.9 keV)のピークに対して定義され、125～140eV程度、波長分散型X線分光器(WDS)では鉄(Fe) Kα(6.4 keV)のピークに対して定義され、約10eVである。WDSの分解能はEDSのそれよりはるかに良いことが分かる。最近開発された波長分散型の軟X線分光器(SXES)の分解能は、アルミニウム(Al) L線のFermi端(73 eV)で定義され、0.3eVである。

The energy resolution in elemental analysis using X-ray spectroscopy means the minimum energy (eV) of a spectral peak that can be resolved. Two peaks of a spectrum that are separated by about the full width at half maximum (FWHM) are distinguishable. The energy resolution depends on the types of detectors.
The resolution of the energy dispersive X-ray spectrometer (EDS) is defined for the peak of Mn Kα (5.9 keV) to be 125 to 140 eV. The resolution of the wavelength dispersive X-ray spectrometer (WDS) is defined for the peak of Fe Kα (6.4 keV) to be about 10 eV. It should be noted that the resolution of WDS is much better than that of EDS. The energy resolution of the recently-developed soft X-ray spectrometer (SXES), which is one of WDS, is defined for the Fermi edge of Al L line (73 eV) to be 0.3 eV.