オージェ電子

Auger electron

[目次：理論]

励起状態にある原子が基底状態に遷移するとき、そのエネルギーが特性X線の放出に用いられず、原子内の電子の放出に用いられるとき、この放出電子をオージェ電子という。オージェ電子のエネルギーは元素に固有であり、その脱出深さが非常に浅いので(0.5～数nm)、固体の極表面の定性定量組成分析および電子状態分析（化学結合状態分析）に利用される。定量精度は約10％である。原子番号の小さい元素では、特性X線の放出の確率よりオージェ電子の放出の確率が高い。逆に原子番号の大きい元素では、特性X線の放出の確率がオージェ電子の放出の確率より高い。

When an atom at an excitation state makes a transition to the ground state, if its energy is not used to emit characteristic X-rays but used to emit an electron in the atom, the emitted electron is called "Auger electron." The Auger electron energy is characteristic of an element and the escape depth of the Auger electron is very small (0.5 nm to several nm). Thus, the Auger electron is utilized for qualitative and quantitative compositional analysis and electronic structure analysis (analysis of chemical-bonding states) on top surfaces of solids. The accuracy of Auger electron spectroscopy is about 10%. An element of low atomic number has a higher probability of Auger electron emission than that of characteristic X-ray emission. To the contrary, an element of high atomic number has a higher probability of characteristic X-ray emission than that of Auger electron emission.