画像積算

image integration

[目次：観察手法]

高速走査のSEM像を複数加算することで、ノイズを減らして表示したり記録する方法。視野探し、焦点合わせといった動きを伴った調整や、動的な観察を行う場合は、リカーシブフィルタを使うが、静止状態を表示したり、記録する場合は、個々のSEM像の重みが一定な単純積算を行う。積算回数を多くするとノイズは少なくなるが、データ取得中に像が動くと、画像は一方向にぼけてしまう。

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