後方散乱電子

backscattered electron

[目次：理論]

試料に入射した電子の内、試料内で散乱されて再び試料表面から真空に放出されたもの。反射電子とも呼ばれるが、そのエネルギーは比較的高く、入射電子エネルギーをピークにして、連続的に分布する。

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