コレクター

collector

[目次：装置]

二次電子検出器の電極の一つ。シンチレーターの前に置かれており、±数百Ｖの電圧を印加することで、二次電子の検出効率を変えることができる。SEM像の明るさが変わるだけでなく、検出される二次電子と反射電子の割合が変わり照明効果の度合いが変わるので、像の凹凸感も変わる。プローブ電流を非常に大きくしたときは、マイナスの電圧を掛けることで、シンチレーターに入射する電子を減らし、シンチレーターを保護する役目も持っている。

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