散乱吸収コントラスト
散乱吸収コントラスト
scattering-absorption contrast
[目次:理論]
STEM像あるいはTEM像のコントラストの一つ。非晶質試料を観察したときに見られるもので、薄膜状試料の中に(厚さ×密度)積の違いがあると、透過した電子線に散乱強度の違いを生じる。検出器の取り込み角を適当に選ぶことで、この違いをコントラストとして得ることができる。
下図にSTEMおよびTEMでの散乱吸収コントラストの形成原理を示す。(厚さ×密度)積が大きな領域で散乱された波はSTEMではコントラスト絞りで、TEMでは対物レンズ絞りで遮られることで形像に寄与せずコントラストを生じる。
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