試料加熱ステージ

specimen heating stage, heating stage, hot stage

[目次：装置]

試料を高温に加熱したときの形態変化を観察するための試料ステージ。試料温度を上げると熱電子が放出され像コントラストを落とすが、熱電子は二次電子よりエネルギーが小さいため、試料上方にグリッドを置いてマイナスの電圧を掛け、熱電子を追い返すような構造となっている。さらに高温度にした場合は、光に対する対策も必要となる。実際に使用する際は、加熱時の試料のドリフトに注意する必要がある。

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