真空計

vacuum gauge

[目次：装置]

真空圧力を測定するための計器。自動排気のシーケンスを制御する場合にはピラニ真空計やペニング真空計が用いられるが、スパッタイオンポンプは超高真空用の真空計としても使えるので、電子銃部の真空モニターあるいは高電圧印加のインターロック用として用いられる。

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