真空蒸着

vacuum evaporation

[目次：試料作製]

真空中で金、金パラジウム、白金パラジウム、アルミニウム、カーボンなどの材料を蒸発あるいは昇華させて、試料表面に薄いコーティングをする技術。蒸着時の真空圧力は10^-3～10^-2Ｐａ程度で、残留ガス分子による蒸着金属原子の散乱が少ないため、一様な膜厚のコーティングをするためには試料の回転・傾斜を行う必要がある。

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