ズームコンデンサーレンズ

zoom-condenser lens system

[目次：装置]

集束レンズの励磁を変えると、試料に照射される電流（プローブ電流）を変えることができるが、同時に焦点がずれる。集束レンズを2段構成にして、第1集束レンズによる焦点ズレを第2集束レンズで補正すれば、焦点ズレを最小限に抑えることができる。これをズームコンデンサーレンズと呼ぶ。

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