ステレオ計測
ステレオ計測
stereoscopic analysis
[目次：観察手法]
ステレオ観察用に撮影された、2枚のSEM像内の視差を利用して、高さを測定する方法。画面全体のデータを取り込んで各点の高さを求め、3次元表示を行うパーソナルコンピュータ用のソフトウェアもできているほか、測定精度を上げるため、3枚以上のSEM像を使う方法も発表されている。
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ステレオ計測
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[目次：観察手法]
ステレオ観察用に撮影された、2枚のSEM像内の視差を利用して、高さを測定する方法。画面全体のデータを取り込んで各点の高さを求め、3次元表示を行うパーソナルコンピュータ用のソフトウェアもできているほか、測定精度を上げるため、3枚以上のSEM像を使う方法も発表されている。
