スペクトルイメージング

spectrum imaging, spectrum mapping

[目次：分析]

EDSにおけるデータの保存・表示方法の一つ。試料表面を2次元的に走査しながら、各画素毎にスペクトルを収集することで、試料上の位置とスペクトルを関係づけた形でデータを保存する。データ収集後、任意の点のスペクトルを表示したり、任意のX線エネルギーの元素マッピングや線分析を行ったり、定量マッピングを行うことができる。

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