選択的定電位電解エッチング法

selective potentiostatic etching by electrolytic dissolution method, SPPED method

[目次：試料作製]

金属組織を観察するときに使われるエッチング法の一つ。非水溶媒電解液中で定電位の電解エッチングを行うものであるが、電気量を正確に制御することで、試料表面あるいは界面を再現性よくエッチングすることができる。ミクロ的な金属組織の観察や、組織と対応した析出物の観察ができるので、SEMの特長を生かした粒界や破面などの3次元的な解析に適する。

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