走査オージェ顕微鏡

scanning Auger microscope, SAM

[目次：装置]

電子プローブを使って微小領域のオージェ電子分光を行う装置。SEMの機能とオージェ分光装置の機能を備えている。ショットキー電子銃を搭載した装置では、横方向10nm程度、深さ方向数nmと極めて小さい分析領域が得られる。

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