走査形LEEM

scanning low-energy electron microscope, scanning LEEM, SLEEM

[目次：装置]

数百eV以下の低エネルギーの電子プローブで結晶性試料を走査し、表面で弾性散乱した電子を検出して、像を作るSEM。形像に寄与するコントラストは回折コントラストである。減速法による陰極レンズが使われる一方、表面現象を扱うため試料は超高真空中に置かれる。

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