チャンネリングコントラスト

channeling contrast

[目次：理論]

結晶性試料を観察したとき、結晶方位の違いによってSEM像やSIM像に生じるコントラスト。電子やイオンのチャンネリングにより、結晶方位の違いで試料への侵入深さが変わり、結果として反射電子や二次電子の放出量が変わるために生じるコントラストである。電子線の場合、エネルギーを変えても、入射方位を変えてもコントラストが変わるが、イオンビームの場合、入射方位依存性は持つもののエネルギー依存性は、ほとんど持たない。

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