デコンタミネーション

decontamination

[目次：装置]

試料表面に付着した試料汚染堆積物が、電子線照射によって除去される現象。試料周辺に残留する酸素ガスと汚染堆積物との反応によるものと考えられ、試料室に若干の真空漏れがある状況で高い電子流密度の電子線照射を行ったときに起きやすい。この現象を利用して試料表面にガスを吹き付けて試料汚染を防ぐ方法がある。

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