デジタル走査

digital scanning

[目次：装置]

電子プローブの水平方向の走査を、デジタル制御されたステップ状の走査信号波形で行う方式。走査速度を変えても画像の位置ずれや歪みが起きにくい、EDSや電子線描画のように電子プローブ位置を外部制御しようとした時、照射位置や走査方向を自由に制御できる、といったメリットがある。一方、画像の解像力に比べて、ステップ数が粗いとサンプリング数が少なくなり、アーティファクトが生じることがあるので、取り込んだ画像を拡大するような場合は注意が必要である。

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