電位分布像

voltage contrast image

[目次：理論]

電位コントラストを可視化したSEM像。電位が高い部分が暗く、電位が低い部分が明るくなるので、LSIの回路の動作状態の確認などに使われる。下図はアルミ配線の電位分布像で、灰色のアース電位の部分に対して、マイナス電位の配線が明るくなっている。

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