電子光学系

electron optical system

[目次：装置]

電子プローブを作り、走査する機能を持つ部分。電子銃、集束レンズ、対物レンズ、非点補正装置、偏向系などから構成される。鏡筒と同義語であるが、鏡筒が構造物そのものを意味するのに対して、電子光学系は機能的な意味を持つことが多い。

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