電子プローブマイクロアナライザ

electron probe microanalyzer, EPMA

[目次：装置]

電子を照射したとき試料から放出される特性X線の波長を分光して、照射領域に存在する元素の同定および濃度の分析を行う装置。分析領域は横方向、深さ方向とも数百nm～数µmである。分析機能を重視することから、数基のWDSと、分光条件に合わせるための光学顕微鏡を備えている。電子プローブの走査機能を持っているのでSEM像の取得のほか元素マッピングなどを行うことができるが、SEMと違って試料ステージには傾斜機構、回転機構が無いのが普通である。なお、EDSを取り付けたSEMをEPMAと呼ぶ場合がある。

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