電子レンズ

electron lens

[目次：装置]

磁場や静電場の作用によって電子ビームを収束あるいは発散させる装置。
電子ビームの光軸に回転対称の磁場あるいは静電場は、電子ビームを収束させる凸レンズの作用を持つ。しかし、光学レンズでは可能な凹レンズは作れない。前者を磁場レンズ、後者を静電レンズと呼ぶ。
SEMの対物レンズには、通常、磁場レンズが用いられている。近年、開発された電磁場重畳レンズでは、静電レンズが磁場レンズの下に付加されている。電子銃のウェーネルト電極は静電レンズとして働き、電子ビームのクロスオーバーを作る。

A component that converges or diverges an electron beam by the action of a magnetic field or an electrostatic field.
The magnetic field and the electrostatic field, which are rotationally-symmetric with respect to the optical axis of the electron beam, have an action of a convex lens to converge the electron beam. However the concave lens, which is possible to make in the light optical lens, cannot be created in the electron lens. A lens created by the magnetic field is called the magnetic field lens and a lens created by the electrostatic field is called the electrostatic lens.
The magnetic field lens is generally used for the objective lens of SEM. In the magnetic-electrostatic compound lens recently developed, an electrostatic lens is put under a magnetic lens. The Wehnelt electrode of the electron gun acts as an electrostatic lens to form the crossover of the electron beam.