透視SEM

see-through SEM

[目次：観察手法]

多くの場合SEMは表面形態を観察する目的に使われているが、高加速電圧で内部形態を積極的に見ようとする使い方がある。これを透視SEMと呼ぶことがあり、永瀬らによって提唱された。

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