内部起電力

electromotive force, EMF

[目次：理論]

p-n接合に電子が入射すると、電子−正孔対が出来るが、空乏層の電界によって電子はｎ領域へ、正孔はp領域に移動し、p-n接合の両端に電圧が発生する。これを内部起電力と言う。電子線誘起電圧と呼ばれることもある。電子プローブで試料表面を走査したときの内部起電力の変化を可視化したものを内部起電力像（electromotive force image）と言うが、外部に回路を繋いだときの電流を検出しているので、EBIC像と同じ意味である。

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