倍率標準試料

magnification-standard specimen, magnification-calibration specimen

[目次：装置]

一定の大きさあるいはピッチを持った、倍率の基準となる試料。SEMは加速電圧範囲が広く、作動距離も目的に応じて変える必要がある。このため、倍率誤差が大きくなりがちである。倍率精度を上げるためには大きさの基準となる試料を使って一定条件で計測する必要がある。メッシュ、ラテックス球、などがあるが、最近ではリソグラフィー技術を応用した数百nmピッチのパターンが使われるようになり、ISOのトレーサビリティーを満足するものもある。

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